لیزر اگزایمر زنون کلرید (Xenon Chloride Excimer Laser - XeCl)، در فیزیک (Physics)
انواع لیزرها (Laser) را در آموزش زیر شرح دادیم :
لیزر اگزایمر زنون کلرید (Xenon Chloride Excimer Laser - XeCl) :
Xenon Chloride (XeCl) Excimer Laser در طول موج ۳۰۸ نانومتر (فرابنفش نزدیک) کار می کند. این لیزر با مخلوط گاز زنون، گاز کلر (یا HCl) و گاز بافر (معمولا نئون) کار می کند. XeCl در مقایسه با ArF و KrF، دارای گازی با خورندگی کمتر (کلر نسبت به فلوئور) و طول عمر گاز بیشتر است. همچنین بهره آن بالا و پهنای پالس می تواند نسبتا بلندتر باشد (چند ده نانوثانیه). این ویژگی ها XeCl را برای کاربردهای صنعتی و پزشکی جذاب کرده است.
مکانیزم تشکیل XeCl* : در تخلیه الکتریکی، اتم های زنون برانگیخته (Xe*) با مولکول های HCl (یا Cl₂) واکنش داده و مولکول برانگیخته XeCl* را تشکیل می دهند. گسیل القایی به حالت پایه دافعه، نور ۳۰۸ نانومتر تولید می کند. مزیت XeCl نسبت به لیزرهای حاوی فلوئور، عدم تشکیل محصولات جانبی بسیار خورنده و سمی است. همچنین کلر واکنش پذیری کمتری با شیشه و کوارتز دارد.
از لیزر XeCl در پزشکی برای آنژیوپلاستی عروق کرونر (PCTA) و درمان برخی بیماری های پوستی استفاده می شود. در صنعت، برای پردازش مواد (حکاکی، تمیزکاری، و اصلاح سطح) پلیمرها، سرامیک ها و فلزات کاربرد دارد. در تحقیقات علمی، برای طیف سنجی، برهم کنش لیزر با ماده، و به عنوان منبع پمپ برای لیزرهای رنگی استفاده می شود. همچنین در فوتولیتوگرافی (برای گره های قدیمی) و در برخی نمایشگرهای لیزری کاربرد داشته است.
مزایای XeCl شامل طول عمر گاز طولانی تر، خورندگی کمتر، قابلیت کار در نرخ تکرار بالا (کیلوهرتز)، و توان متوسط خوب (چند صد وات) است. معایب آن شامل طول موج بلندتر که برای برخی کاربردهای دقیق (مانند جراحی چشم) مناسب نیست، و پهنای پالس نسبتا بلندتر است. با این حال، XeCl یک لیزر اگزایمر همه کاره و نسبتا کم دردسر است. در سال های اخیر، با پیشرفت لیزرهای حالت جامد فرابنفش، کاربردهای آن کاهش یافته، اما در برخی حوزه های صنعتی و پزشکی خاص، همچنان استفاده می شود. XeCl پل ارتباطی بین لیزرهای فرابنفش و لیزرهای صنعتی قابل اعتماد است.
