مقاومت لایه نازک (Thin Film Resistor)، در مدارهای الکتریکی (Electrical Circuit)
انواع مقاومت ها (Resistor)، در مدارهای الکتریکی (Electrical Circuit) را در آموزش زیر شرح دادیم :
مقاومت لایه نازک (Thin Film Resistor) :
این مقاومت ها با نشاندن یک لایه بسیار نازک (معمولا کمتر از ۰.۱ میکرومتر) از فلز یا آلیاژ بر روی زیرلایه سرامیکی یا سیلیکونی به روش کندوپاش یا تبخیر در خلأ ساخته می شوند. ضخامت لایه در حد چند نانومتر تا ۱۰۰ نانومتر است.
دقت بالا: لایه نازک امکان دستیابی به تلورانس های تنگ (۰.۰۵% تا ۰.۵%) و ضریب دمایی پایین (۵ تا ۵۰ ppm/°C) را فراهم می کند. همچنین نویز بسیار کمتر از لایه ضخیم است.
فرآیند: ابتدا لایه فلزی (مثلا تانتالیوم، نیترید تانتالیوم، نیکل-کروم) روی زیرلایه نشانده می شود. سپس با فوتولیتوگرافی و اچینگ، الگوی مقاومت ایجاد می شود. به دلیل ضخامت کم، می توان ابعاد بسیار کوچک با دقت بالا داشت.
مقاومت سطحی (اهم بر مربع) در لایه نازک کمتر از لایه ضخیم است (معمولا ۱۰ تا ۱۰۰۰ اهم/□). برای مقاومت های بالا، مسیرها به صورت مارپیچ یا بلند طراحی می شوند.
مزایا: دقت بالا، پایداری عالی، نویز کم، ضریب دمایی پایین، قابلیت تولید در ابعاد کوچک. معایب: هزینه بالاتر نسبت به لایه ضخیم، توان پایین تر (به دلیل ضخامت کم)، محدودیت در مقاومت های بسیار بالا.
کاربردها: مدارهای دقیق آنالوگ، مبدل های آنالوگ به دیجیتال، تجهیزات مخابراتی، تقویت کننده های دقیق، مدارهای فرکانس بالا (به دلیل خازن پارازیتی کم)، سنسورها، تجهیزات پزشکی قابل کاشت.
بسته بندی: عمدتا به صورت SMD در ابعاد کوچک (۰۴۰۲، ۰۲۰۱) و همچنین به صورت آرایه ای و شبکه ای. همچنین مقاومت های فیلم نازک بر روی ویفر سیلیکونی به صورت مجتمع ساخته می شوند.
